උදාසීන රෝල්ඩ් තඹ තීරු: "විඛාදනයේ ආරක්ෂණ පලිහ" සහ කාර්ය සාධන සමතුලිතතාවයේ කලාව සකසා ගැනීම

පෙරළීම යනු රෝල් කරන ලද නිෂ්පාදනයේ මූලික ක්රියාවලියකිතඹ තීරු. එය මතුපිට "අණුක මට්ටමේ පලිහක්" ලෙස ක්රියා කරන අතර, සන්නායකතාව සහ Liblaseity වැනි විවේචනාත්මක ගුණාංගවලට ප්රවේශමෙන් සමතුලිත කරමින් විඛාදන ප්රතිරෝධය වැඩි දියුණු කරයි. මෙම ලිපිය මගින් ගමන් කිරීම යාන්ත්රණයන්, කාර්ය සාධන වෙළඳාම සහ ඉංජිනේරු භාවිතයන් පිටුපස ඇති විද්යාව පිළිබඳ විද්යාව පිළිබඳව සොයා බලයි. භාවිතා කිරීමCiven ලෝහඋදාහරණයක් ලෙස, උදාහරණයක් ලෙස, උදාහරණයක් ලෙස, අපි එහි සුවිශේෂී වටිනාකම ඉහළ මට්ටමේ ඉලෙක්ට්රොනික නිෂ්පාදනයක් ගවේෂණය කරන්නෙමු.

1. උදාසීන කිරීම: තඹ තීරු සඳහා "අණුක මට්ටමේ පලිහක්"

1.1 උදාසීන කිරීමේ ස්ථරය සාදන්නේ කෙසේද?
රසායනික හෝ විද්යුත් රසායනික ප්රතිකාර මගින්, සංයුක්ත ඔක්සයිඩ් ස්ථරයක් හරහා 1-50nm thick න ආකෘති මතුපිටතඹ තීරු. ප්රධාන වශයෙන් cu₂o, CUO සහ කාබනික සංකීර්ණ වලින් සමන්විත වන අතර, මෙම ස්ථරය සපයයි:

• ශාරීරික බාධක:ඔක්සිජන් විසරණය සකස් කිරීම 1 × 10⁻¹⁴ cm² / s දක්වා වර්ධනය වේ (හිස් තඹ සඳහා 5 × 10⁻⁸ cm² / s සිට පහළට).
• විද්යුත් රසායනික ගමන් කිරීම:10μa / cm² සිට 0.1μ / cm² දක්වා විඛාදන වත්මන් dens නත්වය පහත වැටේ.
• රසායනික නිෂ්කාශනය:ප්රතික්රියාශීලී හැසිරීම මැඩපැවැත්වීම, මතුපිට නිදහස් ශක්තිය 72mj / m² සිට 35mj / m² දක්වා අඩු වේ.

1.2 උදාසීනකරණයේ ප්රධාන ප්රතිලාභ පහක්

2., උදාසීන ස්ථර වල "ද්විත්ව දාර කඩුව" - සහ එය සමතුලිත කරන්නේ කෙසේද

2.1 අවදානම් ඇගයීම

• සන්නායකතාවයේ සුළු අඩුවීමක්:උදාසීන ස්තරය සමේ ගැඹුර (10ghz) 0.66μm සිට 0.72μM දක්වා සමේ වර්ධනය වැඩි කරයි, නමුත් thickness ණකම 30n ට අඩු තබා ගැනීමෙන්, ප්රතිරෝධකතාව වැඩි කිරීම 5% ට අඩු විය හැකිය.
• පෑස්සීමේ අභියෝග:පහළ පෘෂ් with ය ශක්තිය 15 ° සිට 25 to දක්වා පෝෂක තෙත් කරන ලද කෝණ වැඩි කරයි. සක්රිය සොල්දාදුවන් පේස්ට් භාවිතා කිරීම (RA වර්ගය) මෙම බලපෑමෙන් මිදිය හැකිය.
• මැලියම් ගැටළු:දුම්මල බන්ධන ශක්තිය 10-15% කින් පහත වැටෙනු ඇති අතර එය රළුබව හා ගමන් කිරීමේ ක්රියාවලීන් ඒකාබද්ධ කිරීමෙන් අවම කළ හැකිය.

2.2Civen ලෝහසමතුලිත ප්රවේශය

ශ්රේණියේ ගමන් කිරීමේ තාක්ෂණය:

• මූලික ස්ථරය:(111) කැමති දිශානතිය සමඟ 5nm cu₂o හි විද්යුත් රසායනික වර්ධනය.
• අතරමැදි ස්ථරය:2-3n -3n බෙන්සොට්රියෝල් (බීටීඒ) ස්වයං එක්රැස් වූ චිත්රපටය.
• පිටත තට්ටුව:දුම්මල මැලියම් වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා සිලාන් කප්ලිං නියෝජිතයා (APTES).

ප්රශස්තිකරණ කාර්ය සාධන ප්රති results ල:

3. Civen ලෝහගමන් කිරීම තාක්ෂණය: ආරක්ෂණ ප්රමිති නැවත අර්ථ දැක්වීම

3.1 ස්ථර හතරක ආරක්ෂණ පද්ධතියක්

1. අල්ට්රා-සිහින් ඔක්සයිඩ් පාලනය:ස්පන්දන ඇදිය විසින් thickness ණකම විචලනය ± 2nm ඇතුළත විචලනය ලබා ගනී.
2. කාබනික-අකාබනික දෙමුහුන් ස්ථර:විඛාදන අනුපාතය වසර 0.003 ක් දක්වා අඩු කිරීම සඳහා BTA සහ SILANE එකට වැඩ කරයි.
3. මතුපිට සක්රිය කිරීමේ ප්රතිකාරය:ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීම (AR / O₂ ගෑස් මික්ස්) සොල්දාදුවන් තෙත් කෝණ 18 to දක්වා ප්රතිස්ථාපනය කරයි.
4. තත්ය කාලීන අධීක්ෂණය:ඉලිප්සොමෙට්රි මඟින් උදාසීන කිරීමේ ස්ථර thickness ණකම ± 0.5nm දක්වා.

3.2 ආන්තික පරිසර වලංගුකරණය

• අධික ආර්ද්රතාවය සහ තාපය:පැය 1000 සිට 85 ° C / 85% RH, මතුපිට ප්රතිරෝධක වෙනස්කම් 3% ට අඩු.
• තාප කම්පනය:-55 ° C C සිට + 125 ° C C දක්වා වූ චක්ර 200 කට පසුව, උදාසීන තට්ටුවේ කිසිදු ඉරිතැලීමක් නොපෙන්වයි (SEM විසින් සනාථ කරන ලදි).
• රසායනික ප්රතිරෝධය:ප්රතිරෝධය 10% HCL වාෂ්පයක් මිනිත්තු 5 සිට මිනිත්තු 30 දක්වා වැඩි වේ.

3.3 අයදුම්පත් හරහා අනුකූලතාව

• 5g මිලිමීටර-තරංග ඇන්ටනා:28ghz ඇතුළු කිරීමේ අලාභය 0.17db / cm (තරඟකරුවන්ගේ '0.21DB / සෙ.මී.
• වාහන ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ:දීර් coll න චක්ර 100 දක්වා ISO 16750-4 ලුණු ඉසින පරීක්ෂණ සමත් වේ.
• අයිසී උපස්ථර:ABF RESIN සමඟ මැලියම් ශක්තිය 1.8n / cm (කර්මාන්ත සාමාන්යය: 1.2n / cm).

4. ගමන් කිරීමේ තාක්ෂණයේ අනාගතය

4.1 පරමාණුක ස්ථර තැන්පත් (ADD) තාක්ෂණය
Al₂o₃ / tio₂ මත පදනම්ව නැනෝලාමිනේට් ගමන් කිරීමේ චිත්රපට සංවර්ධනය කිරීම:

• Thickness ණකම:<5dm, ප්රතිරෝධක වැඩි වීම ≤1%.
• කැෆේ (සන්නායක ඇනෝඩික් සූතිකාමය) ප්රතිරෝධය:5x වැඩිදියුණු කිරීම.

4.2 ස්වයං සුව කිරීමේ උදාසීන ස්ථර
මයික්රොකොප්ස්සුල් විඛාදන නිෂේධක ඇතුළත් කිරීම (බෙන්සිම්ඩිසෝල් ව්යුත්පන්නයන්):

• ස්වයං සුව කිරීමේ කාර්යක්ෂමතාව:සීරීම්වලින් පසු පැය 24 ක් ඇතුළත 90% ඉක්මවා ඇත.
• සේවා ජීවිතය:අවුරුදු 20 ක් දක්වා (අවුරුදු 10-15 අතර කාලයක් හා සසඳන විට).

නිගමනය:
ඉවරන ප්රතිකාරය රෝල් කරන ලද ආරක්ෂාව සහ ක්රියාකාරිත්වය අතර පිරිපහදු කළ සමබරතාවයක් ලබා ගනීතඹ තීරු. නවෝත්පාදනය තුළින්,Civen ලෝහඋදාසීනත්වය අවම කරමින් නිෂ්පාදන විශ්වසනීයත්වය ඉහළ නංවන "අදෘශ්යමාන සන්නාඩ" බවට පත් කරයි. ඉලෙක්ට්රොනික් කර්මාන්තය ඉහළ ity නත්වයක් හා විශ්වසනීයත්වයක් ඇති කරවන විට තඹ තීරු නිෂ්පාදනයේ මූලික ගලක් බවට හේතු වී තිබේ.